입자 공학 기반의 정밀 모니터링으로 공정을 혁신합니다.
낮은 정확도와 재현성으로 인해 차세대 반도체 공정에 적용하기 어렵습니다.
기존 광산란 방식의 한계를 극복한 혁신적인 기술
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