고성능 에토마이져

원뿔형 분리기 설계

잔여물 발생을 최소화하는 NVR-free 기술로 초순수 환경에 최적화

정밀 제어 시스템

온도와 압력을 정밀하게 제어하여 안정적인 에어로졸 생성

내화학성 소재

PFA 등 반도체 화학 약품에 적합한 고품질 소재 사용

AI/ML 기반 최적화

AI 데이터 후처리 알고리즘

NVR신호 분리 및 Slurry 농도 변환 알고리즘을 통한 Data 정확도 향상

다양한 공정 액체 대응

CMP Slurry, 황산, IPA, 과산화수소 등 다양한 공정 액체에 적용 예정